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减薄研磨抛光过程中氧化铈抛光粉的使用和作业指导

时间 :2022-06-10 作者 : 来源: 浏览 : 分类 :
2根据抛光液配制记录表数值要求,秤取所需重量抛光粉,倒入存有一定量RO水或抛光液的抛光液桶内,进行手动搅拌,然后使用过滤网过滤至抛光机搅拌桶内,充分搅拌5分钟以上并循环2分钟

在当前TFT面板和玻璃的主要抛光加工处理过程中,通常使用是氧化铈抛光粉。根据现在薄化企业的通常作业规范和需求,以下进行汇总整理相关流程步骤和使用要求,以供大家参考。

一、研磨抛光过程中,抛光粉需调配成一定抛光需求的抛光液,其使用控制主要分三部分

1、抛光液的配比

1) 抛光液浓度的确定和调整;

2) 抛光液PH值的控制和调整;

2、抛光液的使用中的浓度、PH值的监控和更换

3、抛光液的流量控制

抛光液的配比

抛光液浓度的确定和调整(注:为了保证调配水的纯度,务必使用RO纯水调配氧化铈抛光液)

1、通常使用抛光液的溶度控制在密度为:1.03~1.05之间。新的抛光液的调配,纯水每公斤以100克氧化铈抛光粉(配比:1:10)为标准(注:根据不同生产需求和抛光粉材料性质特点,不同企业也将抛光液纯水和抛光粉配比在1:7的情况),旧的抛光液密度若≤1.03则需要添加抛光粉,若>1.05则加水稀释。

注:在配制抛光液时,由于抛光粉结块情况,建议加入适量的RO热水进行调配并手动搅拌,然后使用过滤网过滤至抛光机搅拌桶内,充分搅拌5分钟并循环2分钟以上,以便抛光粉和RO水的充分融合。

2、通常抛光液的PH值控制在数值8左右时,抛光液抛光效率能达到较佳状态。若PH过小偏酸性时可以适量添加一些氢氧化钠来中和,反之PH值过大偏碱性时,可以适当添加一些像柠檬酸或冰醋酸等来调整PH的范围。

抛光液的使用中浓度、PH值的监控时间和更换周期

1、在实际抛光作业中,建议每4小时检测一次抛光液的浓度和PH值,每班次添加1~2次左右抛光粉。

2、抛光机台容器中的抛光液建议每30天全部更换一次

3、按抛光液的比重在4~8%的情况,在监测过程中发现抛光液浓度减小,添加抛光粉量的简易计算参考公式如下:每升添加量=(12%-当前比重)kg/L。

抛光液的流量控制

1、抛光液按单边流量为:每分钟2500cc的参考建议。

二、薄化企业在抛光过程中抛光液作业指导书参考:

1.密度计校准

1)将密度计放于量筒中。

2)向量筒注满RO水。

3)当密度计稳定后平视液面,读出测量值并记录于《密度计校准表》。

4)校准范围为1.000±0.005g/cm3。

5)校准频率为1个月1次。

2.抛光液密度的配制和PH值设定

1)抛光液密度范围为1.03~1.05;

2)新抛光液的抛光粉和RO水比重参考值在1:10左右。并在控制抛光液密度要求同时,用PH值电子测量笔测定当前配比的抛光液PH值,并使其控制在PH值为8左右,测量每次实际需求配比需求,并记录在《抛光液配制记录表》中。

操作流程:

按抛光粉和RO水的配比参考值在1:10,在量筒中加入一定量比例RO水和抛光粉进行密度测定,测定密度时确保平视密度计。

3)按抛光液密度值范围1.03~1.05,

3.抛光粉的称取和添加操作流程:

1)取出电子秤,打开开关,观察称重数值是否为零,若有误差按置零按钮归零,用小杯从抛光粉箱内盛取抛光粉置于秤盘内(盘内需垫一层干净的纸或塑料布)

2)根据《抛光液配制记录表》数值要求,秤取所需重量抛光粉,倒入存有一定量RO水或抛光液的抛光液桶内,进行手动搅拌,然后使用过滤网过滤至抛光机搅拌桶内,充分搅拌5分钟以上并循环2分钟。

4.新抛光液的配制

1)新配制抛光液时应使用纯水冲洗抛光液桶及管路。

2)称取抛光粉并加入抛光机的抛光液桶中。参考以上第3点“抛光称取和添加操作流程”

3)测量抛光机台单边流量为每分钟2500cc,并设定抛光机台的流量控制。

5.抛光液使用过程中抛光液浓度和PH值的监测调整

1)抛光液使用过程中的监测频率为每4个小时测量1次。若≤1.03则需要添加抛光粉,若>1.05则加水稀释。

2)打开抛光液循环,将量筒置于抛光液出液口接取抛光液,一手持量筒,一手拿比重计,将比重计底端慢慢放入量筒内待比重计自主悬浮不再晃动时,平视读取刻度。

3)按抛光液密度范围为1.03~1.05要求,参考以上第2点“抛光液密度的配制和PH值设定”,调整抛光液浓度,并记录于《抛光液配制记录表》中。

4)测量现有抛光液桶已于抛光液的容量,根据《抛光液配制记录表》中数值,称取一定量的抛光粉并添加至抛光液桶中。参考以上第3点“抛光称取和添加操作流程”

6.抛光液的更换周期为:1次/30天,抛光粉添加频率:1-2次/台/班。

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